项目名称:一种纯静态双加热温梯法晶体生长装置(实用新型:双加热温梯法晶体生长装置)
项目编号:09006151-2cl
专利号:ZL200410054286.8,ZL(200420082546.8)
专利申请号:
转化方式:合作、转让、融资
项目现状:方案、图纸、
“一种纯净态双加热温梯法晶体生长装置”解决的技术问题是克服现有技术中多加热、多温区的温度梯度坩埚下降法或坩埚移动法生长晶体(即Tammann-Bridgman方法),由于移动系统造成温场的不稳定性,尤其是生长多组分配比的大直径高温氧化物晶体,影响更为严重,因此生长大直径掺钕、掺镱的钇铝石榴石(Nd:YAG;Yb:YAG)激光晶体,除传统的提拉法之外,至今尚无其它结晶方法能获得成功,虽然也有多次报道过温度梯度坩埚下降法生长蓝宝石晶体。不过说实在,至今没有温度梯度坩埚下降法生长出大尺寸、高完整性、优质蓝宝石晶体出来。双加热单温区则保证晶体生长过程中,温度场不受任何转动系统的干扰影响,热场稳定,“一种纯净态双加热温梯法晶体生长装置”是“一种耐高温的温梯法晶体生长装置”结晶工艺的补充发明。
“一种纯净态双加热温梯法晶体生长装置”则可采用a-轴取向的晶种生长蓝宝石晶体,避开解离面,生长大直径,高度又高的蓝宝石晶体毛坯,横向切割、加工成大圆柱体,这样就可大大提高晶体的成品使用率。所以,“一种纯净态双加热温梯法晶体生长装置”和“一种耐高温的温梯法晶体生长装置”相结合,可完整地实现2英寸至4英寸以上蓝宝石光学材料和蓝宝石衬底基片的产业化生产制备要求
“温梯法”是世界上唯一 一种能生长4英寸以上,结晶完整性和光学均匀性均优的掺钕、掺镱钇铝石榴石(Nd:YAG、Yb:YAG)激光晶体和高掺杂浓度的钛宝石(Ti+3:Al2O3)可调谐激光晶体。此外,中国的“温梯法”也与俄罗斯的“泡生法”、美国的“热交换法”一起成为世界上能生长4英寸以上大尺寸优质蓝宝石晶体的三大晶体生长方法之一。且中国的“温梯法”生长的蓝宝石晶体,其结晶完整性和光学均匀性远优于俄罗斯的泡生法。 “温梯法”生长的直径113毫米蓝宝石晶体,经美国加州理工学院,美国通用公司和国内相关单位等综合测试结果,大面积光学均匀性:Δn<10-5、光损耗:<10-4/cm、位错密度:≦5*102/cm2达到国际先进水平,部分指标,如1064nm(纳米)的弱吸收测试结果:吸收系数为35~65ppm/cm优于美国Crystal System INC(CSI)公司提供的样品80ppm/cm,处于国际领先水平。
而单加热,单温区生长熔点高于1950℃的大尺寸晶体,当晶体直径大于5英寸时,会由于过大的晶体生长室温差导致坩埚和热屏蔽装置毁坏。本发明提供一种双加热,双控温,单温区的“温梯法”晶体生长装置,为生长熔体温度接近2100℃的大尺寸高温氧化物晶体提供良好的温场条件。“一种纯净态双加热温梯法晶体生长装置”的发明,解决了生长大直径、高度又高的高温氧化物晶体难题,为“温梯法”晶体生长方法研制开发大尺寸激光晶体、光学晶体创造极为广阔的空间。“双加热温梯法晶体生长装置”的发明,必将促使大尺寸蓝宝石晶体系列(Al2O3、Ti3+:Al2O3、Cr3+:Al2O3);钇铝石榴石(Y3Al5O12)晶体系列(即Nd3+:YAG、Yb3+:YAG、Ce3+:YAG等)以及各种掺杂的铝酸钇(YAlO 3:即YAP)晶体系列生长研制迈向一个新阶梯,在大尺寸高温氧化物激光晶体、光学晶体的研制领域中创造新的业绩,也为研制超大尺寸氟化钙(CaF)光学晶体创造有利条件。